昨天的文章我們了解了離子束拋光的主要概念及離子束拋光機的研發現狀，今天我們來看離子束拋光機的優點。

1、非接觸式的材料去除

離子束拋光機加工過程中鏡面不會因受到應力作用而產生形變，因此不會產生復印效應。在鏡面邊緣處去除函數不因為接觸面積、壓力變化而產生變化，邊緣去除函數與中心相同，加工過程不存在邊緣效應。加工過程中離子源能夠完全運動出工件表面，保證加工過程能夠進行完全卷積，具有更強的可操作性。

2、近高斯型去除函數

與其他光學加工方法的去除函數不同，離子束拋光法的去除函數具有接近高斯型的空間分布，便于結算加工駐留時間。同時，由于離子束拋光過程發生在真空中，決定材料去除率的因素更加明確，影響去除函數穩定性的成分較少，去除函數的可控性與穩定性更好，便于通過調節工作參數得到具有不同特點的去除函數，從而提升了光學加工的可控性與準確性。

3、更好的光學加工適應性

離子束拋光機在拋光過程中，束流始終與光學鏡面緊密貼合，不會引入由于工具和鏡面不吻合而導致的頻段誤差。不僅僅適用于平面、球面的光學加工，更適用于高陡度非球面的高精度加工過程。同時，離子束拋光法能夠用于大多數常用的光學材料的高精度拋光過程，不需要根據材料的不同而使用不同的磨料或拋光液。

4、更準確的材料去除過程

離子束拋光過程中，材料體積去除率與材料去除分布均高度可控。與接觸式方法相比較，離子束拋光法去除函數能夠通過實驗與數學計算準確標定計算，從而確保離子束拋光具有很高的收斂效率，是一種真正的確定性加工方法。 5、更廣泛的應用可能性

傳統方法往往只能以材料去除為[敏感詞]目標進行加工規劃，且各方法由于其技術特點往往無法對所有空間頻段殘差進行有效地收斂和修正。而離子束拋光機的作用過程中，離子與鏡面材料相互作用，在此過程中會發生一系列復雜的物理過程，不僅僅能夠準確的去除材料，還能夠進一步用于提升鏡面的表面質量。例如，采用犧牲層法提升鏡面粗糙度、采用附加去除材料法實現全頻段收斂等應用。